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（1）該電路板能夠產生16路輸出的信號源，信號源的頻率為13.56MHz的正弦波，并且每一路信號的相位都能相對于一個基準獨立可調，移相范圍在0-360°，移相精度在0.1°以下，移相功能能夠通過上位機對其進行控制，這些信號作為鎖相環的基準信號。
（2）該電路板具有鎖相環功能，鎖相環的輸出信號能夠作為射頻電源的基準信號，使射頻電源輸出的功率信號與基準信號同步，頻率為13.56MHz。并且該鎖相環能夠將負載的反饋信號與基準信號相比較，進行閉環調節。
（3）該電路板可以完成對射頻電源的控制、對負載內氣體壓力檢測、控制電機調節負載內部諧振、能夠監測負載反饋信號是否存在、監測鎖相環是否工作正常等。
（4）射頻控制電路板能夠與上位機進行實時通訊，并將實時數據上傳到上位機，數據包括負載內部氣體壓力、電機位置信號、鎖相環是否在正常工作狀態、負載反饋信號是否存在等。
（5）射頻控制電路板與射頻電源接口為BNC。
（6）射頻控制電路板與上位機的連接端口可自己選擇。
（7）射頻控制電路板供電電壓為DC12V。
（8）射頻控制電路板可以恒態穩定運行。
（9）該電路板用于大型設備上，設計成功后，可能需要來現場調試，地點在北京。
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