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陀螺儀是用高速回轉體的動量矩敏感殼體相對慣性空間繞正交于自轉軸的一個或二個軸的角運動檢測裝置,現代陀螺儀是一種能夠精確地確定運動物體的方位的儀器,它是現代航空,航海,航天和國防工業中廣泛使用的一種慣性導航儀器,它的發展對一個國家的工業,國防和其它高科技的發展具有十分重要的戰略意義。傳統的慣性陀螺儀主要是指機械式的陀螺儀,機械式的陀螺儀對工藝結構的要求很高,結構復雜,它的精度受到了很多方面的制約。
自從上個世紀七十年代以來,現代陀螺儀的發展已經進入了一個全新的階段,據快包資深數據分析師統計,上個月平臺與陀螺儀技術相關項目多達十多個,增長趨勢明顯,其中一個單片機+無線模塊+陀螺儀項目已經完成,在工作人員的說服下,服務商愿意給大家分享陀螺儀開發的經驗,共享知識,共同學習進步。
容感式MEMS加速度計內部也存在一個質量塊,從單個單元來看,它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積,通過測量電容變化量來計算加速度。Freescale的MMA7660FC這一款加速度計(3-Axis Orientation/Motion Detection Sensor),這一款芯片也是利用這一原理設計的。datasheet的第9頁介紹了其工作原理:當芯片有向右的加速度時,中間的活動質量快相對于另外兩塊電容板向左移動,這兩平行板電容器的電容就發生了變化,從而測量出芯片運動的加速度。
由于壓電式MEMS加速度計內部有剛體支撐的存在,通常情況下,壓電式MEMS加速度計只能感應到“動態”加速度,而不能感應到“靜態”加速度,也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應“動態”加速度,又能感應“靜態”加速度。
MEMS陀螺儀利用科里奧利力——旋轉物體在有徑向運動時所受到的切向力。假設旋轉物體有徑向速度Vr,那么將會產生切向科里奧利加速度。