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8月3日消息,據THE ELEC報道,電子和電信研究所 (ETRI) 已成功開發出下一代小芯片技術。最大的特點是工藝數量相比現有chiplet工藝減少到1/3。ETRI 正準備通過與海外半導體公司合作將下一代小芯片技術商業化。
ETRI低碳集成技術創意實驗室負責人崔光成 (Choi Gwang-seong) 在 ELEC 于 2019 年 12 月在首爾驛三浦項大廈舉辦的“半導體混合接合會議”上發表了主題為“Tiling Bonding 技術作為 Chiplet 集成技術”的演講。
Choi 表示:“(TSV 和混合鍵合)之間存在鮮為人知的差距。10-40μm 區域對我們來說可能是一個機會。” 他補充道,“由于使用硅中介層等并不能帶來生產力,因此應該采用倒裝芯片接合。”
ETRI 開發了“平鋪工藝”,這是一種下一代小芯片技術,旨在瞄準這一領域。在拼貼工藝中,將非導電薄膜 (NCF) 應用于半導體晶圓基板,并將芯片堆疊在晶圓上,就像將拼貼與晶圓上制造的小芯片連接起來一樣。然后,對表面進行激光照射,進行粘合和后固化過程。ETRI解釋說,應用瓷磚技術時,可以減少后處理所需的清洗、干燥、涂層和固化等工序。
Choi總監表示:“(目前,對于芯片堆疊),如果存在不良裸片(缺陷產品)問題,我們會采用晶圓上芯片(CoW),如果沒有不良裸片問題,我們使用晶圓對晶圓(WoW)。”存在一個野場問題,并且(如果應用平鋪工藝)這兩個問題都可以解決,”他介紹道。
CoW 的缺點是需要大量時間來大規模生產半導體,因為單個芯片堆疊在晶圓上。WoW 是一種將晶圓堆疊在晶圓上的形式。可以生產的半導體類型有限,良率管理也很困難。在平鋪工藝的情況下,與現有工藝相比,可以顯著縮短工藝時間,因為它是一種設置一定規則并堆疊芯片的方法。此外,與WoW方法相比,可以提高成本和產量。
最后,崔主任表示,“(可以應用瓷磚工藝的)市場現在正在開放”,“我們正在尋找合作伙伴一起商業化”。目前,據了解,ETRI正在與海外主要半導體公司I就平鋪工藝進行合作。